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高精度數顯恒溫加熱臺光刻光刻工藝中需要烘烤的步驟有：預烘培和底漆涂敷、軟烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤

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雙門氮氣烘箱定制，可充氮熱風循環烘箱箱體材料：外箱采用優質冷軋板烤漆；內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；