真空無氧烘箱，高溫無氧真空烤箱簡介
     真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設有超溫斷開加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報警電路，控制可靠，使用安全。
      真空無氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍： RT（室溫）+50～ +200/300/400/500℃；
溫度波動度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制：電磁閥+可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測：氧濃度檢測儀可達10ppm
工作尺寸：W350×H350×D350,可定制
高溫無氧真空烤箱結(jié)構(gòu)：
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；
內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；
保溫材料：超細陶瓷纖維；
排 氣 口：KF25；
真空泵：渦旋式油泵或干泵；
真空無氧烘箱，高溫無氧真空烤箱溫控系統(tǒng)：
操作界面：人機界面+PLC，可一鍵運行，多個工藝編輯；
溫度測量：K型熱偶；
控制儀表：高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，可程式觸摸屏控制器可選擇；
超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng)，保證試驗品的安全；
控制系統(tǒng)：主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元氣件；