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四腔HMDS真空烘箱 電腦式多工位HMDS烘箱將六甲基二硅烷（HMDS）快速、均勻且經(jīng)濟(jì)高效的對(duì)襯底預(yù)處理，從而提高襯底與光刻膠的附著力

偶聯(lián)劑蒸鍍機(jī)和抗黏劑蒸 鍍機(jī)的區(qū)別應(yīng)用工藝和鍍膜化學(xué)品區(qū)別不同，應(yīng)用于半導(dǎo)體，集成電路，MEMS工藝，建筑材料，航天新材料

玻璃棉卷氈憎水處理系統(tǒng) 憎水劑噴涂機(jī)是將憎水劑滲透進(jìn)入纖維間的微孔隙，固化后在孔隙表面形成納米級(jí)疏水膜，減少水汽通過毛細(xì)作用滲透的通道，同時(shí)保持纖維間孔隙的保溫性能（憎水率≥98%）

偶聯(lián) 劑涂布機(jī) 硅烷偶聯(lián)劑氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用方法指通過表面預(yù)處理方式,改善材料界面性能的技術(shù)，其核心機(jī)制依賴于硅烷分子的水解縮合及與基材的化學(xué)鍵合作用.

表面改性疏水處理設(shè)備用蒸汽涂覆（Vapor Prime）將 疏水劑均勻覆蓋在產(chǎn)品表面；

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問題,同時(shí)增強(qiáng)光刻圖形的完整性.

大型HMDS真空烘箱，4門HMDS真空烤箱 是半導(dǎo)體光刻工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于基片表面預(yù)處理，通過六甲基二硅氮烷（HMDS）涂布增強(qiáng)光刻膠與基片的黏附性。