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實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問題,同時增強(qiáng)光刻圖形的完整性.

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕鰪?qiáng)表面的黏附性（HMDS-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料。

桌上型HMDS烘箱，小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性，從而增大晶圓表面的接觸角），增強(qiáng)光刻膠和晶圓的粘附力。

碳化硅HMDS烘箱，SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中氮化鎵（GaN）和、碳化硅（SiC）、硅片、砷化鎵等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用

HMDS烘箱真空泵，IDP10無油泵泵具有密封設(shè)計，電機(jī)和軸承與真空環(huán)路全隔離，延長了軸承的使用壽命，并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設(shè)計，可通過簡單的工具在 15 分鐘內(nèi)完成維護(hù)操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染，并且不會額外增加泵的高度。

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。